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产品名称

钽靶材

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产品描述

产品名称:钽靶材
标准:GB/36292006
牌号:RO5200, RO5400, RO5252(Ta2.5W), RO5255(Ta10W)
纯度:≥99.95%
状态:退火态  硬态
规格:直径(50400)mm *厚度(328)mm
成份说明:

Ta

99.95  %最少

O

0.0120  %最大

C

0.0040  %最大

N

0.0040  %最大

H

0.0010  %最大

S

0.0001  %最大

Al

0.0005  %最大

Ca

0.0005  %最大

Cd

0.0005  %最大

Cl

0.0005  %最大

Co

0.0005  %最大

Cr

0.0005  %最大

Cu

0.0005  %最大

Fe

0.0005  %最大

Hf

0.0005  %最大

K

0.0001  %最大

Li

0.0001  %最大

Mg

0.0005  %最大

Mn

0.0005  %最大

Mo

0.0030  %最大

Na

0.0001  %最大

Nb

0.0350  %最大

Ni

0.0005  %最大

Pb

0.0005  %最大

Si

0.0005  %最大

Sn

0.0005  %最大

Ti

0.0005  %最大

Th

0.0050  %最大

V

0.0005  %最大

W

0.0050  %最大

Zn

0.0005  %最大

Zr

0.0005  %最大

Y

0.0005  %最大

U

0.0050  %最大

其它

0.0005  %最大

再结晶:95%最少
晶粒度:最小40μm
表面粗糙度:Ra 0.4 最大
平整度:0.1mm or 0.10% 最大.
公差:直径公差+/ 0.254
如有特殊要求,双方具体商定

  钽靶材是重要的薄膜技术用材料,钽靶材最终制作纯度可高于99.95%,且其晶粒尺寸小,再结晶组织和三个轴向的一致性好,作为阴极溅射靶材所形成的氧化膜质度均匀,不与空气中其他物质发生化学反应,保护效果持久。钽溅射靶材在光导纤维,半导体晶片和集成电路中得到了广泛的应用,在军事中也获得青睐,目前已研制成功了钽制穿甲弹。

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