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关键词：硬质合金刀片 | 单晶碳化钨 | 铸造碳化钨 | 球状铸造碳化钨 | 硬质合金球粒
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钽靶材
产品名称：钽靶材
标准：GB/36292006
牌号：RO5200, RO5400, RO5252(Ta2.5W), RO5255(Ta10W)
纯度：≥99.95％
状态：退火态 硬态
规格：直径（50400）mm *厚度(328)mm
成份说明:
|
Ta |
99.95 ％最少 |
|
O |
0.0120 ％最大 |
|
C |
0.0040 ％最大 |
|
N |
0.0040 ％最大 |
|
H |
0.0010 ％最大 |
|
S |
0.0001 ％最大 |
|
Al |
0.0005 ％最大 |
|
Ca |
0.0005 ％最大 |
|
Cd |
0.0005 ％最大 |
|
Cl |
0.0005 ％最大 |
|
Co |
0.0005 ％最大 |
|
Cr |
0.0005 ％最大 |
|
Cu |
0.0005 ％最大 |
|
Fe |
0.0005 ％最大 |
|
Hf |
0.0005 ％最大 |
|
K |
0.0001 ％最大 |
|
Li |
0.0001 ％最大 |
|
Mg |
0.0005 ％最大 |
|
Mn |
0.0005 ％最大 |
|
Mo |
0.0030 ％最大 |
|
Na |
0.0001 ％最大 |
|
Nb |
0.0350 ％最大 |
|
Ni |
0.0005 ％最大 |
|
Pb |
0.0005 ％最大 |
|
Si |
0.0005 ％最大 |
|
Sn |
0.0005 ％最大 |
|
Ti |
0.0005 ％最大 |
|
Th |
0.0050 ％最大 |
|
V |
0.0005 ％最大 |
|
W |
0.0050 ％最大 |
|
Zn |
0.0005 ％最大 |
|
Zr |
0.0005 ％最大 |
|
Y |
0.0005 ％最大 |
|
U |
0.0050 ％最大 |
|
其它 |
0.0005 ％最大 |
再结晶：95％最少
晶粒度：最小40μm
表面粗糙度：Ra 0.4 最大
平整度：0.1mm or 0.10％ 最大.
公差：直径公差+/ 0.254
如有特殊要求，双方具体商定
钽靶材是重要的薄膜技术用材料，钽靶材最终制作纯度可高于99.95%，且其晶粒尺寸小，再结晶组织和三个轴向的一致性好，作为阴极溅射靶材所形成的氧化膜质度均匀，不与空气中其他物质发生化学反应，保护效果持久。钽溅射靶材在光导纤维，半导体晶片和集成电路中得到了广泛的应用，在军事中也获得青睐，目前已研制成功了钽制穿甲弹。